- 产品介绍:
性能特点如下:
EM01-PV-III多入射角激光椭偏仪(光伏专用)已升级至EMPro-PV极致型多入射角激光椭偏仪,主要升级内容包括:
单次测量速度提高3倍;
绒面测量精度提高66%;
新的仪器外形,整体稳定性增强。
EM01-PV-III为太阳能电池测试专用激光椭偏仪,用于单晶硅、多晶硅以及薄膜太阳能电池的膜厚和折射率测量,产品提供单晶硅专用太阳能电池样品台。
*特点:
高精度、高稳定性
特定角度样品台,适合单晶硅太阳能电池的测量
适合绒面测量
操作简单
快速测量
快速、高精度样品方位对准
多角度测量
一体化集成设计
*应用领域:
单晶、多晶及各种薄膜太阳能电池的折射率和膜厚测量领域,既适合科研院所研究使用,亦适合工厂进行工艺研究分析和产线上产品检测。
*性能保证:
高稳定性的He-Ne激光光源、高精度的采样方法以及低噪声探测技术,保证了系统的高稳定性和高准确度
高精度的光学自准直望远系统,保证了快速、高精度的样品方位对准
稳定的结构设计、可靠的样品方位对准,结合先进的采样技术,保证了快速、稳定测量
分立式的多入射角选择,可应用于复杂样品的折射率和绝对厚度的测量
一体化集成式的仪器结构设计,使得系统操作简单、整体稳定性提高,并节省空间
专用软件方便太阳能电池测试和建模
技术参数:
激光波长 632.8nm(He-Ne laser)
膜厚测量重复性 0.05nm(对于绒面Si基底上80nm的Si3N4膜层)
折射率精度 5x10-4(对于绒面Si基底上80nm的Si3N4膜层)
结构 PSCA
激光光束直径 <1mm
入射角度 40°-90°可选,步进5°
样品方位调整:
三维平移调节:±12.5mm(X-Y-Z三轴)
二维俯仰调节:±4°
光学自准直系统监视
样品台尺寸 Φ170mm
单次测量时间 典型1.1s
推荐测量范围 0-2000nm
最大外形尺寸(长x宽x高) 980 x 660 x 430mm (入射角为90o时)
*可选配件:
NFS-SiO2/Si二氧化硅纳米薄膜标片
NFS-Si3N4/Si氮化硅纳米薄膜标片
VP01真空吸附泵
VP02真空吸附泵